御微半导体首台 Halo-100 掩模基板缺陷检测产品成功发运

2024年5月12日，御微首台掩模基板缺陷检测产品Halo-100在御微合肥成功发运，并顺利交付国内先进掩模厂。

御微半导体自主研发的Halo-100设备作为御微“掩模全生命周期质量控制”产品线的第二款产品，凭借御微多年来在掩模检测领域积累的丰富经验和技术储备，以高精度光学系统、高稳定性运动台系统以及高洁净度环控与传输系统为基础，结合御微专有的算法和软件系统，成功实现了针对掩模基板(blank)缺陷检测的需求，并将掩模检测的应用领域拓展至掩模厂来料检和掩模基板厂全制程控制检。

御微半导体Halo-100掩模基板缺陷检测产品

在掩模厂中，Halo-100设备可应用于来料检，在掩模版曝光前进行缺陷检测，从而有效避免对曝光机腔体内部造成污染，同时防止带污染物的掩模版经过曝光后继续流向后续工序，减少客户良率损失。此外，该设备还可作为曝光机等生产设备particle monitor的检测标尺，定期监测生产设备内部洁净度。另外，Halo-100设备搭载的自动开盒/自动倒板模块，极大减少因人工干预而带来的二次污染，确保掩模板从光罩盒到曝光机全程零污染。

在掩模基板厂中，Halo-100设备可以运用在玻璃基板来料检、多层镀膜过程检和成品出货检等环节，助力客户在每个制程节点监测洁净度情况。

Halo-100的推出，进一步完善了御微在“掩模全生命周期质量控制”产品线的布局，与i6R和Raptor两款产品形成了一站式掩模零缺陷检测监管和质量控制闭环。未来，御微将持续加大研发投入，精准把握客户需求，不断推出满足客户需求的新产品，填补国内相关半导体设备领域的空白，为广大客户创造更多价值。